据韩媒《朝鲜政府日刊》4月6日刊道，SK海力士枝江M16加工厂3名铁路工人在核对装置的过程中因毒性杂质氟酸泄密受伤。M16加工厂是此前竣工的DRAM生产线加工厂。当天上午11点34分时，在京畿道枝江市SK海力士 M16加工厂5楼的装置来进行核对期间，牵涉到硫化物泄漏意外事故。
氟酸是无色毒性氟化氢溶解在池中的挥发黏性。使用于积体电路电路插图Pattern的蚀刻MOS中。
在这起意外事故中，一名30岁的铁路工人的胳膊和腿部被烧伤，另有两名雇员也因吸入氟酸氢气移出至附近的医院。据刊道，3名均无生命危险。SK海力士声称，此次意外事故是在对最初M16加工厂装置来进行核对时牵涉到的，对积体电路生产线没有影响。
（图片是从：朝鲜政府日刊）
据悉，M16加工厂将主要生产线DRAM商品，总面积5.7万平方米。在2021年1月，SK海力士在韩国京畿道枝江总部举行M16新厂竣工仪式，正式宣布新厂凌空。
SK海力士首次在M16装上EUV（极紫外）光刻机，并从今年下半年起生产线第四代1α纳米级DRAM商品。今后SK海力士将提高EUV装置效率，进一步增强存储器积体电路相关的先进工程技术管理者。
是从：积体电路行业新联盟
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